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一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[15p-A305-1~9] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

2020年3月15日(日) 13:45 〜 16:30 A305 (6-305)

原明人(東北学院大)、岡田竜弥(琉球大)

16:00 〜 16:15

[15p-A305-8] Cu-MIC 4端子poly-Ge_1-xSn_xTFTの性能およびインバータへの応用

宮崎僚¹、〇原明人¹ (1.東北学院大工)

キーワード：半導体、薄膜トランジスタ、ゲルマニウム