[15p-B410-1~11] 3.13 半導体光デバイス

[15p-B410-4] 凹面鏡を有する青色窒化物面発光レーザの放射角狭小化

〇林 賢太郎¹、中島 博¹、伊藤 仁道¹、田中 雅之¹、長根 昭悦¹、條川 達郎¹、真藤 達也¹、小林 紀子¹、大原 真穂¹、渡邊 秀輝¹、比嘉 康貴¹、濱口 達史¹、幸田 倫太郎¹、簗嶋 克典¹ (1.ソニー株式会社)

キーワード：面発光レーザ、窒化ガリウム

凹面鏡を用いたGaN-VCSEL（Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser）は,青色帯において世界最小値となる閾値電流(Ith)=0.25 mAでの室温連続発振が,また,2019年には{20-21}の面方位を有する半極性GaN基板上に形成した素子で,青緑帯GaN-VCSEL(波長491-497 nm)の室温連続発振が報告されている. しかしながらこれらの素子は凹面鏡による強い光閉じ込めのため,放射角が8.5度と,平面ミラーの例（5.1度）よりも広い.そこで今回は凹面鏡構造を有する素子のビーム出射角を狭小化する試みを報告する.