10:00 〜 10:15 [11a-N305-5] 常圧1400℃アニール処理したMg/Nイオン注入GaN結晶のアクセプタ活性化率の評価 〇大森 雅登1、渡邉 健太2、宮崎 泰成1、白石 舞翔1、和田 竜垂1、大川 峰司2 (1.大分大、2.ミライズテクノロジーズ)