09:30 〜 09:45 △ [12a-N102-3] Ar/C4F8/SF6を用いたガス変調サイクルプロセスにおける活性種の挙動2 〇(M2)吉江 泰斗1、堤 隆嘉2、石川 健治2、堀 勝2 (1.名大院工、2.名大低温プラズマ科学研究センター)