15:15 〜 15:30 [10p-N203-7] シリコン結晶基板の品質と点欠陥(6) CO, NN, NO ringの赤外吸収 〇井上 直久1、川又 修一1、奥田 修一1 (1.大阪府大研究推進)
15:45 〜 16:00 [10p-N203-9] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(23)赤外吸収法のinstrumental detection limitとspectral detection limit 〇井上 直久1、奥田 修一1、川又 修一1 (1.大阪府大研究推進)