14:00 〜 14:15 [11p-N304-3] CF4ガスによるMg2Si基板の反応性イオンエッチング特性 〇中村 陸斗1、吉田 美沙2、津谷 大樹2、鵜殿 治彦1 (1.茨城大院、2.NIMS)