11:30 〜 11:45 [11a-N305-10] N極性面GaN基板上Si添加GaNスパッタ膜の表面形態 〇山田 真嗣1、白井 雅紀2、小林 宏樹2、上村 隆一郎2、加地 徹3、須田 淳1,3 (1.名大院工、2.アルバック、3.名大未来研)