14:30 〜 14:45 △ [13p-N203-5] コンビナトリアル手法を用いたトンネルFET用n型酸化物半導体チャネル材料の検討 〇大門 祐貴1,2、知京 豊裕2、小椋 厚志1,3、長田 貴弘2,3 (1.明大理工、2.物質・材料研究機構、3.明大MREL)