11:45 〜 12:00 [11a-N305-11] HI中性粒子ビームによるInGaN反応性エッチング 〇(M2)澤田 尭廣1、石原 崇寛1、大堀 大介1、王 学論3,4、寒川 誠二1,2 (1.東北大流体研、2.東北大 AIMR、3.産総研、4.名大 IMaSS)