塩島謙次

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発表者・著者、共著者

2021年9月12日(日) 09:00 〜 11:45 N305 (口頭)

一般セッション(口頭講演)
| 13 半導体
| 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

[12a-N305-1~10] 13.7 化合物及びパワーデバイス・プロセス技術・評価

11:30 〜 11:45

[12a-N305-10] 界面光顕微応答法によるSiC、GaN、a-Ga₂O₃ショットキー接触の均一性の評価

〇塩島謙次¹、川角優斗¹、堀切文正²、福原昇²、三島友義³、四戸孝⁴ (1.福井大院工、2.サイオクス、3.法政大、4.FLOSFIA)