09:15 〜 09:30 △ [12a-N102-2] 窒化ガリウムのプラズマエッチング中その場分光エリプソメトリー観測 〇南 吏玖1、石川 健治1、堤 隆嘉1、近藤 博基1、関根 誠1、小田 修1、堀 勝1 (1.名大)