13:30 〜 13:45 [10p-N307-1] 次世代半導体露光用CO2レーザー生成プラズマbeyond EUV光源の開発 〇東口 武史1、金田 凌祐1、中山 勇冬1、小川 純里1、川崎 太夢1 (1.宇都宮大工)
13:45 〜 14:00 [10p-N307-2] EUV光源から発生する多価イオンの価数分離エネルギースペクトル 川崎 太夢1、中山 勇冬1、新沼 大登1、久米 真樹1、〇東口 武史1 (1.宇都宮大工)