16:45 〜 17:00 △ [10p-N405-10] ハイブリッド集積に向けたDirect Transfer Bondingによる接合位置精度の検討 〇小野寺 広夢1、菊池 健彦1、大礒 義孝1、雨宮 智宏1,2、西山 伸彦1,2 (1.東工大工、2.科学技術創成研究院)