15:15 〜 15:30 [11p-N302-8] 電界効果トランジスタの動作解析による多層MoS2に対するフッ素プラズマ処理効果の理解 〇(M1)木井 浩喜1、野内 亮1,2 (1.大阪府立大工、2.JST さきがけ)