10:00 〜 10:15 [12a-N206-5] 固相結晶化過程での Sn 添加 In2O3 薄膜における構造・電気・光学特性の温度依存性 〇山本 哲也1、古林 寛1、牧野 久雄1、小林 信太郎2、石川 和彦2、稲葉 克彦2 (1.高知工科大総研、2.(株)リガク)