16:15 〜 16:30 △ [12p-N304-11] Cu配線上WビアにおけるTiNバリアメタルの検討 〇澤田 元気1、北村 政幸1、加藤 敦史1、松田 浩亮1、有田 幸司1、田上 政由1、中嶋 由美1、大賀 淳1 (1.キオクシア株式会社)