10:15 〜 10:30 [13a-S301-4] 熱フィラメントCVD法による超硬基板へのダイヤモンド膜形成と異常成長の観察 〇税木 善則1、坂東 隆宏1、針谷 達1、滝川 浩史1、服部 貴大2、杉田 博昭2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス(株))