11:00 〜 12:40 [22a-P08-6] Si含有DLC成膜用テトラメチルシランプラズマにおける基板への入射ラジカルおよびイオンのガス流量依存性の計測 〇石井 晃一1、佐々木 瞬1、神山 真央1、小田 昭紀1、渡邉 泰章2、上坂 裕之3、太田 貴之4 (1.千葉工大工、2.イノベーションサイエンス、3.岐阜大工、4.名城大理工)