[10p-N202-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[10p-N202-1] Si上Geエピタキシャル層の高速トレンチ埋め込み成長

本村 一輝¹、〇加藤 滉大¹、Jose A. Piedra-Lorenzana¹、Mohd Faiz Bin Amin¹、飛沢 健¹、中井 哲弥²、石川 靖彦¹ (1.豊橋技術科学大学、2.(株)SUMCO)

キーワード：Ge on Si、トレンチ埋め込み成長