[10p-N202-1~19] 15.5 IV族結晶，IV-IV族混晶

[10p-N202-15] SOI基板上におけるCaシリサイド層の形成

〇(M2)伊藤 善常¹、中塚 理^1,2、黒澤 昌志¹ (1.名大院工、2.名大未来研)

キーワード：Caシリサイド