[10p-N203-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[10p-N203-9] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(23)赤外吸収法のinstrumental detection limitとspectral detection limit

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪府大研究推進)

キーワード：シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収

1x10¹³/cm³までの炭素濃度の赤外測定を実用としSEMI規格の改訂を再開した。detection limitの定義や根拠のため、前回instrumental detection limit(IDL)とspectral detection limit(SDL)を提案し高感度化法を示した。今回は世界の赤外技術者やSEMIメンバーとの議論を踏まえIDL1x10¹⁴/cm³以下SDL約3x10¹³/cm³の例を示す。