[10p-N302-1~15] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[10p-N302-11] Crystallization of InSb Films on Glass by RTA

Takashi Kajiwara¹, Otokichi Shimoda², Tatsuya Okada², Charith Jayanada Koswaththage², Takashi Noguchi², 〇Taizoh Sadoh¹ (1.Kyushu Univ., 2.Univ. Ryukyus)

Keywords:semiconductor, InSb

ガラス基板上におけるInSn薄膜の急速熱処理法(RTA)による結晶成長を検討したので報告する。