[10p-N305-1~18] 3.7 レーザープロセシング

[10p-N305-12] 高強度レーザー場中金属薄膜の光エネルギー吸収シミュレーション

〇谷 水城^1,2、乙部 智仁²、篠原 康¹、石川 顕一¹ (1.東大院工、2.量研関西研)

キーワード：フェムト秒加工

我々は、熱化前の非平衡状態に適用可能であり、実験値を参照する必要のない、 Vlasov 方程式に基づく電子ダイナミクスシミュレーション手法を提案しており、バルクアルミニウムに対する有効性が確認されている。今回は表面の加工を念頭に置き、表面からの深さに応じてエネルギー注入量を評価するプログラムへと拡張したので、これのベンチマークテストを行なった。