[10p-N401-1~10] 7.2 電子ビーム応用

[10p-N401-9] ナノ結晶シリコンを用いた平面型電子放出素子からの電子放出 (Ⅱ)

〇嶋脇 秀隆¹、村上 勝久²、長尾 昌善²、三村 秀典³ (1.八戸工業、2.産総研、3.静大電研)

キーワード：電子放出、平面型、ナノ結晶シリコン