[11a-S201-1~6] 薄膜・表面物理研究のトレンドと今後の展望 ～薄膜・表面物理分科会50周年記念シンポジウム～

[11a-S201-5] 放射光を用いた表面分析の50年間の歩みと今後：X線光電子分光の展開

〇高桑 雄二¹ (1.東北大μSIC)

キーワード：放射光、X線光電子分光、表面分析

日本での放射光施設の展開と利用について述べる。放射光を用いた表面分析の中でX線光電子分光法が1970年代から着目され、1980年代からは利用者が急増するとともに、1990年代以降に関連する実験装置の急速な開発が進められた。今後の展開のキーワードはスピン・運動量分解、顕微観察、準大気圧XPS、HAXPESである。準大気圧XPSとHAXPESについて開発の歴史と課題、今後の展望を紹介する。