[11p-S201-1~8] 薄膜・表面物理研究のトレンドと今後の展望 ～薄膜・表面物理分科会50周年記念シンポジウム～

[11p-S201-6] 二次元物質の成長と集積化

〇宮田 耕充¹ (1.都立大理)

キーワード：二次元物質、遷移金属ダイカルコゲナイド、結晶成長

グラフェンや遷移金属ダイカルコゲナイド(TMDC)に代表される様々な二次元物質では、個々の層がファンデルワールス力で積層した「積層ヘテロ構造」、および単一の層内で接合した「面内ヘテロ構造」の二種類の集積構造が実現できる。​本発表では、このような二次元集積構造の実現に向けた、化学気相成長(CVD)法を利用した成長と集積に関する最近の進展を紹介する。