[11p-S401-1~18] 1.6 超音波

△ [11p-S401-13] Pt結晶膜上のTa₂O₅圧電薄膜の成膜とSAW伝搬特性の解析

〇松浦 佳祐¹、鈴木 雅視¹、垣尾 省司¹、小寺 正徳²、舟窪 浩² (1.山梨大、2.東工大)

キーワード：五酸化タンタル、エピタキシャル成長、弾性表面波

RFマグネトロンスパッタリング装置を用いてPt/Si基板上に成膜したTa₂O₅結晶薄膜の結晶構造の評価，および高密度なPt膜を利用したSAW粒子変位の集中効果による高結合化について理論的に検討した．
極点図から，圧電性を持たないλ-Ta₂O₅が成長していると判定した．そのためPtの格子面を感受していない試料よりも圧電性が減少した．また，FEM解析から，Pt中間層を設けることにより，SAW粒子変位がTa₂O₅内に均等に分布し，K²_effが増加したと考えられる。