[12a-N102-1~9] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12a-N102-1] 大気圧アルゴン・プラズマジェットを用いた鉛のエッチング

〇平島 伊織¹、桑畑 周司¹ (1.東海大工)

キーワード：エッチング、大気圧プラズマ

大気圧アルゴン(Ar)プラズマジェットは、周波数10 kHz、印加電10 kV、Arガス流量10 L/分間で発生された。
Arプラズマジェットを鉛へ5分間照射すると、鉛は照射距離2 mmで外径約6 mm内径約5 mmのリング状にエッチングされた。
最大エッチ・レートは、約 1μm/分間であった。