[12a-N304-1~11] 13.5 デバイス／配線／集積化技術

[12a-N304-6] エピタキシャルリフトオフ(ELO)法によるGeOI(111)構造の作成

〇張 文馨¹、萬 獻文²、鄭 伊婷²、林 延勳²、入沢 寿史¹、石井 裕之¹、郭 瑞年³、洪 銘輝²、前田 辰郎¹ (1.産総研、2.台湾大、3.清華大)

キーワード：GeOI、ELO