[12p-N102-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-N102-6] 全固体リチウムイオン電池のためのプラズマスパッタリングLiAlGePO電解質膜の開発

〇林 純希¹、永井 健太¹、羽生 侑真¹、木賀 海青¹、山田 輝也¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：スパッタリング、固体電解質、リチウムイオン電池