[12p-N102-1~15] 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理

[12p-N102-7] プラズマスパッタリング法を用いたLiTiOナノ構造膜の堆積とLiイオン電池負極への応用研究

〇木賀 海青¹、羽生 侑真¹、林 純希¹、永井 健太¹、山田 輝也¹、内田 儀一郎^1,2 (1.名城大理工、2.名城大エネセンター)

キーワード：スパッタリング、リチウムイオン電池