[12p-N206-1~19] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

△ [12p-N206-16] 195 nmで発光する岩塩構造MgZnO薄膜のミストCVD成長

〇小川 広太郎^1,2、高坂 亘²、工藤 幹太²、芹澤 和泉¹、金子 健太郎³、山口 智広²、藤田 静雄³、本田 徹²、尾沼 猛儀² (1.オーク製作所、2.工学院大、3.京大院工)

キーワード：酸化マグネシウム亜鉛、ミスト化学気相成長、真空紫外

VUV域の新規発光材料として、ワイドバンドギャップを有する岩塩構造(RS)酸化マグネシウムが期待されている。本発表では、VUV域における発光波長制御を目指し、ミストCVD法でMgO(100)基板上にRS-Mg_xZn_1-xO(x>0.9)を成膜した結果について報告する。