[12p-N323-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[12p-N323-10] ミニマルファブに求められる室内環境

〇谷島 孝¹、クンプアン ソマワン^1,2、前川 仁^1,2、池田 伸一^1,2、原 史朗^1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構)

キーワード：ミニマルファブ

ミニマルファブを設置する環境について、基本的な考えと、現在稼働中の装置設置環境の具体例を示した。給排気を24時間稼働し、照明、空調を1日8時間、年間200日稼働した時の1年間の電力費は18～19万円で、メガファブにおける電力費とは比較にならない超低コストである。なお、各部屋約27台の装置運転費用も年間わずか20万円程度で、ミニマルファブ設置環境は、最小限の設備投資と維持費で構築することが出来る。