[12p-N323-1~11] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[12p-N323-7] ミニマルSODコーターを用いたミニマル液体ドーパント・プロセスの検討

〇中道 修平¹、加瀬 雅²、佐藤 和重¹、田中 宏幸²、クンプアン ソマワン^1,2、原 史朗^1,2 (1.ミニマルファブ、2.産総研)

キーワード：ミニマルファブ、SODコート、スピンコーター

ミニマルファブでは、不純物拡散に液体ドーパントによる熱拡散法を採用している。SODコーターでのウェハのエッジビートのリンス処理、裏面の汚れの除去などの課題に対して、実験を行い良い特性が得られた。また、塗布膜の平坦度を良くするための試作や熱拡散後に発生する不純物低減の対策なども実施している。