[12p-N323-1~11] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

[12p-N323-8] Development of Minimal Tool for Device Electrical Measurement

〇Fumito Imura¹, Yoshihide Murashima², Masahiro Matsuda², Tadaaki Tsuchiya², Kaoru Zenyouji³, Takashi Ohe³, Kouji Kosaka³, Shun-ichirou Shimbori⁴, Toru Hayakawa¹, Sommawan Khumpuang^1,5, Shiro Hara^1,5 (1.AIST, 2.Logic Research, 3.TCK, 4.Sanyu, 5.MINIMAL)

Keywords:Minimal Fab, Electrical Measurement

ウェハステージ、プローブ針駆動用マニピュレータ、微小電流測定器、カメラなどをミニマル装置内に搭載し、ハーフインチウェハ対応デバイス電気計測システムのミニマル装置を開発した。電極パッド表面の酸化抑制のために窒素雰囲気下で、CADで指定した電極パッドに自動プロービングし電気計測できる。今回、ウェハ全面に形成したpMOSFETのIV測定を行い、プロービング安定性、測定時間などを評価したので報告する。