[13a-N321-1~10] 3.11 フォトニック構造・現象

[13a-N321-3] レーザーアシスト光電気化学エッチングによるGaNマイクロディスク共振器の作製と光学評価

〇下吉 賢信¹、浮田 駿¹、内田 和男¹、田尻 武義¹ (1.電通大)

キーワード：マイクロディスク、光電気化学エッチング