[13a-N323-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[13a-N323-1] Ar+CH₄平行平板型プラズマCVDで作製したカーボンナノ粒子サイズに対するガス圧力の効果

〇古閑 一憲^1,2、黄 成和¹、小野 晋次郎¹、奥村 賢直¹、鎌滝 晋礼¹、板垣 奈穂¹、鷹林 将³、呉 準席⁴、中谷 達行⁵、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.自然科学研究機構、3.有明高専、4.大阪市立大、5.岡山理科大)

キーワード：プラズマCVD、カーボンナノ粒子

筆者らは、現在までにマルチホロー放電プラズマCVD法を用いてサイズ制御したCNPの連続作製に成功し、ナノ粒子のサイズ制御機構についてナノ粒子のプラズマ中滞在時間が重要であることを明らかにした。本発表では、マルチホロー放電プラズマCVD法で得られた知見の産業応用を見据え、平行平板型プラズマCVD法に適用した結果について報告する。