[13a-N323-1~10] 8.3 プラズマナノテクノロジー

[13a-N323-2] 振幅変調放電プラズマ中の光捕捉微粒子の挙動に関する研究

〇鎌滝 晋礼¹、奥永 冴京¹、佐藤 斗真¹、富田 健太郎²、Pan Yiming³、山下 大輔¹、板垣 奈穂¹、古閑 一憲^1,4、白谷 正治¹ (1.九大シス情、2.北大院工、3.九大総理工、4.自然科学研究機構)

キーワード：光ピンセット、微粒子、プラズマ中の位置揺動

多様なナノ構造形成や半導体デバイスの3次元集積化に伴い, プラズマプロセスの深い理解に基づいた超高精度ナノプロセスの創成が求められている[1]．このためには，プラズマプロセス揺らぎの原因解明と制御が重要である．本研究では, 光ピンセット法[2]によりプラズマ中微粒子を捕捉・移動し, その微粒子挙動によりプラズマ中の電場計測を試みてきた．電場揺動計測の観点から重要なプラズマ中の微粒子の位置揺動の発生機構に関する研究は少ない. この機構解明のために, 本稿では放電電圧を振幅変調したプラズマ中の微粒子の挙動について報告する.