[13a-S301-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

[13a-S301-4] 熱フィラメントCVD法による超硬基板へのダイヤモンド膜形成と異常成長の観察

〇税木 善則¹、坂東 隆宏¹、針谷 達¹、滝川 浩史¹、服部 貴大²、杉田 博昭² (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス（株）)

キーワード：ナノダイヤモンド膜、熱フィラメントCVD法、多結晶ダイヤモンド

高い強度を持ち軽量なCFRPの需要が高まっている。CFRPの切削加工には高い硬度と耐摩耗性に優れるダイヤモンドコート工具が用いられる。本研究では，熱フィラメントCVD装置で超硬基板上にダイヤモンド膜の形成を試みた。CH₄流量を制御することにより，異なる粒径（1.3 μm, 50 nm）のダイヤモンド膜を作製した。しかし，粒径50 nmのダイヤモンド膜上には異常成長が観察された。異常成長の要因について考察する。