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[13a-S301-4] 熱フィラメントCVD法による超硬基板へのダイヤモンド膜形成と異常成長の観察
キーワード:ナノダイヤモンド膜、熱フィラメントCVD法、多結晶ダイヤモンド
高い強度を持ち軽量なCFRPの需要が高まっている。CFRPの切削加工には高い硬度と耐摩耗性に優れるダイヤモンドコート工具が用いられる。本研究では,熱フィラメントCVD装置で超硬基板上にダイヤモンド膜の形成を試みた。CH4流量を制御することにより,異なる粒径(1.3 μm, 50 nm)のダイヤモンド膜を作製した。しかし,粒径50 nmのダイヤモンド膜上には異常成長が観察された。異常成長の要因について考察する。