2021年第82回応用物理学会秋季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[13a-S301-1~7] 6.2 カーボン系薄膜

2021年9月13日(月) 09:30 〜 11:15 S301 (口頭)

大谷 亮太(旭ダイヤ)

10:15 〜 10:30

[13a-S301-4] 熱フィラメントCVD法による超硬基板へのダイヤモンド膜形成と異常成長の観察

税木 善則1、坂東 隆宏1、針谷 達1、滝川 浩史1、服部 貴大2、杉田 博昭2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス(株))

キーワード:ナノダイヤモンド膜、熱フィラメントCVD法、多結晶ダイヤモンド

高い強度を持ち軽量なCFRPの需要が高まっている。CFRPの切削加工には高い硬度と耐摩耗性に優れるダイヤモンドコート工具が用いられる。本研究では,熱フィラメントCVD装置で超硬基板上にダイヤモンド膜の形成を試みた。CH4流量を制御することにより,異なる粒径(1.3 μm, 50 nm)のダイヤモンド膜を作製した。しかし,粒径50 nmのダイヤモンド膜上には異常成長が観察された。異常成長の要因について考察する。