[13p-N101-1~18] 15.4 III-V族窒化物結晶

[13p-N101-5] 量子殻/トンネル接合を用いた3次元ナノワイヤGaN結晶中の不純物ドーピング評価

〇曽根 直樹^1,2、宮本 義也²、奥田 廉士²、伊藤 和真²、山村 志織²、神野 幸美²、勝呂 紗衣²、中山 奈々美²、奥野 浩司³、Lu Weifang²、岩谷 素顕²、竹内 哲也²、上山 智² (1.小糸製作所、2.名城大学、3.豊田合成)

キーワード：ナノワイヤ、窒化ガリウム