[13p-N105-1~14] 3.9 テラヘルツ全般

[13p-N105-12] メッシュフォノニック構造を用いたテラヘルツMEMSセンサの熱感度の向上

〇山本 稜子¹、関 遼太¹、諸橋 功²、長井 奈緒美³、平川 一彦^3,4、小島 明¹、越田 信義¹、張 亜¹ (1.農工大工、2.情報通信研、3.東大生研、4.東大ナノ量子研)

キーワード：MEMSボロメータ、フォノニック構造、熱伝導

MEMS共振器の梁部分にメッシュフォノニック（PnC）構造を導入することで，MEMSボロメータの感度を向上させることを目指しています。PnC構造はMEMS梁の熱伝導率を低減することができ、高感度MEMS熱センサー実現に期待できます。