[22a-P04-1~18] 6.4 Thin films and New materials

[22a-P04-2] Electrical properties of TiN before and after annealing in air

〇Riku Shimizu¹, Daichi Oikawa¹, Toshiaki Fujita², Toshiki Makimoto¹ (1.Waseda Univ., 2.Mitsubishi Material Corporation)

Keywords:Titanium nitride

TiNは金属であるので、キャリアに対する格子散乱が電気的特性に大きな影響を及ぼすために、測定温度が減少すると抵抗率が減少する。しかしながら、本研究では、測定温度が減少すると抵抗率が増加するTiNを確認した。このように、TiNでは二種類の抵抗率の温度依存性が存在する。そこで、本研究では、大気中におけるアニール前後のTiNの電気的特性を解明するために、ホール効果測定を用いて二種類のTiNの電気的特性を評価した。