[22a-P04-1~18] 6.4 Thin films and New materials

[22a-P04-9] Improvement of conductivity and flexibility of ITO nanofiber non-woven cloth

〇(M1C)Jun Okishita¹, Ken Yoshinaga¹, Teruaki Nomiyama¹, Yuji Horie¹ (1.Kagoshima Univ.)

Keywords:flexible device, transparent conductive film, amorphous oxide semiconductor

電界紡糸法で作製したスズドープ酸化インジウム（ITO）透明導電ナノファイバと柔軟性のあるナノファイバを複合化させた不織布は透明導電基板として利用できることが知られている。しかし、この不織布は曲げにより結晶化したITOの粒子間の結合が切れ、抵抗が増加することが分かった。そこで、高温でアモルファスであることから粒子間の結合が切れにくいスズ亜鉛共ドープ酸化インジウム（ITZO）ナノファイバ不織布を作製し評価を行った。