[23a-P06-1~5] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術

[23a-P06-5] 旋回構造の戻りコイルを有するMEMSロゴスキーコイル型電流センサ

〇渡部 善幸¹、加藤 睦人¹、矢作 徹¹、村山 裕紀¹、山田 直也¹、吉田 賢一²、前原 謙一²、福田 祐介²、指田 和之²、池田 克弥²、池田 康亮²、竹森 俊之² (1.山形工技セ、2.新電元工業)

キーワード：ロゴスキーコイル、電流センサ、TSV

パワーデバイスの過電流検知を目的とした、TSV構造のMEMSロゴスキーコイル型電流センサを作製した。センサは、電流を検知する旋回コイルについて、時計回りに電流検出コイルを形成し、終端から反時計回りに旋回しながら戻りコイルを形成することで、外部磁界をキャンセルしながら電流検知する構造とした。スルーレート（di/dt）による電流検出特性を評価したところ、線形的に電流検出が可能であった。