[23p-P12-1~11] 21 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"(Poster)

[23p-P12-8] Formation and characterization of GZO transparent conductive films on flexible substrates by using plasma-assisted molecular beam deposition (7)

〇(M1)Habata Masaya¹, Jyunnosuke Sano¹, Yohei Sato¹, Tsutomu Muranaka¹, Yoichi Nabetani¹, Takashi Matsumoto¹ (1.Univ, of Yamanashi)

Keywords:zinc oxide, transparent conductive films, flexible

本研究グループは、これまでに、低温・低損傷プロセスであるプラズマ支援分子線堆積(PAMBD)法を用いて各種フレキシブル基板上への Ga 添加 ZnO (GZO) 透明導電膜の形成と評価を行ってきた。今回は、PET 基板上に形成した GZO 透明導電膜の曲げ試験に伴う電気抵抗の変化を調査した結果について報告する