10:45 〜 11:00 △ [18a-Z17-7] 固体ソース支援プラズマ化学気相蒸着法により高速形成されたフルオロカーボン膜の特性評価 〇中塚 宏学1、田中 領1、垣内 弘章1、安武 潔1、大参 宏昌1 (1.阪大院工)