10:30 〜 10:45 [19a-Z29-6] シリコンウェーハ中炭素関連結晶欠陥のパワーデバイス特性への影響 〇佐々木 駿1、三次 伯知1、佐俣 秀一1、附田 正則2、大村 一郎2 (1.株式会社 SUMCO、2.九州工業大学)