松本哲之

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発表者・著者、共著者

2021年3月17日(水) 09:00 〜 12:00 Z04 (Z04)

一般セッション(口頭講演)
| 1 応用物理学一般
| 1.1 応用物理一般・学際領域

[17a-Z04-1~11] 1.1 応用物理一般・学際領域

09:45 〜 10:00

[17a-Z04-4] 衝撃焼結法により形成したフッ化イットリウムのグレインサイズと組成がエッチング耐性に及ぼす影響

〇松本哲之^2,1、本間哲哉² (1.キオクシア、2.芝工大)

10:00 〜 10:15

[17a-Z04-5] SiC フォーカスリングリサイクルのための洗浄方法の検討

〇松本哲之^2,1、本間哲哉² (1.キオクシア、2.芝工大)