09:15 〜 09:30
〇野田 周一1、薮田 勇気3、山本 直子3、亀井 龍一郎3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.誠南工業)
野田 周一
発表者・著者、共著者
2021年3月19日(金) 09:00 〜 11:45 Z24 (Z24)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2021年3月19日(金) 13:30 〜 16:15 Z24 (Z24)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
15:30 〜 15:45
〇野田 周一1、小粥 敬成2、酒井 渉3、廣瀬 潤3、林 達也3、大西 佳那3、西里 洋3、クンプアン ソマワン1,2、原 史朗1,2 (1.産総研、2.ミニマルファブ推進機構、3.堀場エステック)