11:00 〜 11:15 [17a-Z03-9] ガラス基板上に蒸着されたアルミニウム薄膜の大気圧プラズマジェットを用いた横方向エッチング (II) ~接地した金属板上でのプラズマ照射~ 〇平島 伊織1、桑畑 周司1 (1.東海大工)